微波真空烘干灭菌设备进入我国二十多年来，经过技术人员的反复研究和试验，终于成功解决了多项真空干燥技术的难题。二十一世纪初期，微波真空干燥设备由实验室步入生产车间，其节能*，安全无污染，占地面积少等优点得到制药厂家、化工行业、食品加工、生物工程、农工产品加工、新型材料等应用。
微波真空设备通过微波能的辐射，使加工的物料整体均匀地干燥加热，不需要介质传导所以在设备运行的过程中能量损耗少，利用率高；根据微波的特性，对加工物料的干燥杀菌过程迅速，效果好。对比于常规的真空设备和常压干燥机效率可以提高四倍以上，而能源消耗仅为其百分之六十。
经过微波真空干燥灭菌设备的加工，物料的质量比传统的生产工艺要好；内外均匀，低温干燥的效果能保持物料的原有物化性质。而微波设备在烘干的同时进行杀菌消毒作用，延长物料的保质期。