● 较高测量精度:Height (Z) :0.5μm ● 重复精度:Height :below 1.2μm , Volume :below 1% ● 放大倍率:50X ● 光学检测系统:黑白200万像素 CCD ● 激光发生系统:红光激光模组 ● 自动平台系统:全自动 ● 测量原理:非接触式激光束 ● X/Y可移动扫描范围: 300mm(X) × 300mm(Y) ● 较大可测量高度:5mm ● 测量速度:较大60 Profiles / min ● SPC 软件:Cp、Cpk、Sigma、Histogram Chat、 X bar R&S、Trend、Scatter、Pdata report to Excel & Text ● 计算机系统: DELL PC ,17”TFT LCD, Windows XP ● 软件语言版本:简体中文 . 繁体中文 . 英文 ● 电源:单相 AC 220V, 60/50Hz ● 重量:75kg ● 设备外型尺寸: 668(W) x 775(D) x 374(H) mm ● 包装后尺寸: 790(W)×880(D) ×630(H) mm
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