一、漂移误差
漂移误差是由于进行校准之后仪器或测试系统性能发生变化所引起，主要由测试装置内部互连电缆的热膨胀特性以及微波变频器的变换稳定性引起，且可以通过重新校准来消除。校准维持精确的时间
范围取决于在测试环境下测试系统所经受到的漂移速率。通常，提供稳定的环境温度便能将漂移减至较小。
二、随机误差
随机误差是不可预测的且不能通过误差予以消除，然而，有若干可以将其对测量精度的影响减至较小的方法，以下是随机误差的三个主要来源:
(1)仪器噪声误差
噪声是分析仪元件中产生的不希望的电扰动。这些扰动包括:接收机的宽带本底噪声引起的低电平噪声;测试装置内部本振源的本底噪声和相位噪声引起的高电平噪声或迹线数据抖动。
可以通过采取以下一种或多种措施来减小噪声误差:提高馈至被测装置的源功率;减小中频带宽;应用多次测量扫描平均。
(2)开关重复性误差
分析仪中使用了用来转换源衰减器设置的机械射频开关。有时，机械射频开关动作时，触点的闭合不同于其上次动作的闭合。在分析仪内部出现这种情况时，便会严重影响测量的精度。
在关键性测量期间，避免转换衰减器设置，可以减小开关重复性误差的影响。
(3)连接器重复性误差
连接器的磨损会改变电性能。可以通过实施良好的连接器维护方法来减小连接器的重复性误差。
三、系统误差
系统误差是由分析仪和测试装置中的不完善性所引起。系统误差是重复误差(因而可预测)，且假定不随时间变化，可以在校准过程中加以确定，且可以在测量期间用数学方法减小。系统误差决不能完
全消除，由于校准过程的局限性而总是存在某些残余误差残余(测量校准后的)系统误差来自下列因素:校准标准的不完善性、连接器界面、互连电缆、仪表。
反射测量产生下列三项系统误差:方向性、源匹配、频率响应反射跟踪。
传输测量产生下列三项系统误差:隔离、负载匹配、频率响应传输跟踪。