MOOG伺服阀广泛应用于电厂油动机控制中，下面依次从结构和现象两方面对伺服阀的可能故障模式进行简要的汇总。
一、从结构角度进行分析
1、力矩马达部分
a.线圈断线：引起阀不动，无电流。
b.衔铁卡住或受到限位：原因是工作气隙内有杂物，引起阀门不动作。
c.球头磨损或脱落：原因是磨损，引起MOOG伺服阀性能下降，不稳定，频繁调整。
d.紧固件松动：原因是振动，固定螺丝松动等，引起零偏增大。
e.弹簧管疲劳：原因是疲劳，引起系统迅速失效，伺服阀逐渐产生振动，系统震荡，严重的管路也振动。
f.反馈杆弯曲：疲劳或人为损坏，引起阀不能正常工作，零偏大，控制电流可能到较大。
2、喷嘴挡板部分
a.喷嘴或节流孔局部或全部堵塞：原因是油液污染。引起频响下降，分辨率降低，严重的引起系统不稳定。
b.滤芯堵塞：原因是油液污染。引起频响下降，分辨率降低严重的引起系统摆动。
3、滑阀放大器部分
a.刃边磨损：原因是磨损，引起泄露，流体噪声大，零偏大，系统不稳定。
b.径向滤芯磨损：原因是磨损。引起泄露增大，零偏增大，增益下降。
c.滑阀卡滞：原因是油液污染，滑阀变形。引起波形失真，卡死。
4、其他部分
密封件老化：寿命已到或油液不符。引起阀内外渗油，可导致MOOG伺服阀堵塞。
二、从现象角度分析
1、阀不工作
原因有：马达线圈断线，脱焊；进油或进出油口接反；前置级堵塞，使得阀芯正好卡在中间死区位置，阀芯卡在中间位置几率较少。马达线圈串联或并联两线圈接反，两线圈形成的磁作用力正好抵消。
2、阀有一固定输出，但已失控
原因：前置级喷嘴堵死，阀芯被异物卡涩及阀体变形引起阀芯卡死等，或内部保护滤器被赃物堵塞。要更换滤芯，返厂清洗、修复。
3、阀反应迟钝、响应变慢等
原因：系统供油压力降低，保护滤器局部堵塞，某些阀调零机构松动，及马达零部件松动，或动圈阀的动圈跟控制阀芯间松动。系统中执行动力元件内漏过大等。此外油液太脏，阀分辨率变差，滞环增宽也是原因之一。
4、系统出现频率较高的振动及噪声
原因：油液中混入空气量过大，油液过脏；系统增益过高；来自放大器方面电源噪音；MOOG伺服阀线圈与阀外壳及地线绝缘不好；颤振信号过大或与系统频率关系引起的谐振现象；频率相对低的系统而选了过高频率的伺服阀。