高精度硅微透镜阵列-适用于红外波段
- 时间：2022-04-02作者：深圳维尔克斯光电有限公司浏览：174
红外微透镜阵列
硅微透镜阵列，常见用于红外波段的传感器中，提高信号收集效率和检测精确度。虽然熔融石英微透镜阵列也有用于红外波段的材质，但是其较大的光谱范围只能到达3.5μm左右。而硅制的红外微透镜阵列可以达到更远，切成本和加工难度上要优于熔石英。现阶段我司的Si复眼透镜制作精度与现有的高精度石英微透镜阵列一致，因为Si复眼透镜的材质的折射率更大，所以焦距可变可选范围更广。
微透镜阵列常见的生产材质主要有硅、熔融石英和塑料。熔融石英聚焦较好的透过率和耐受性，在适用波段上，根据材质的不同，分为紫外，可见光波段和红外熔融石英。而硅材料，在红外波段可工作的波长范围比熔融石英更广，也是常见、可以选择的红外波段Si复眼透镜生产材质。塑料材质，因为工艺上的差异，更适合于微透镜阵列的批量生产，在成本控制上性价比跟高。
我司现隆重推出硅微透镜阵列，以满足可在红外波段的应用需求。现阶段的Si微透镜阵列虽然刚起步，但亦有数十个标准品型号。口径囊括常见的尺寸，在100-1500μm之间。因为硅制的红外微透镜阵列，材质折射率比较大，所以，相同的工艺下，我们不仅达成了与熔融石英微透镜阵列一致的加工精度，同时，在微透镜阵列的焦距上有了更大的可选择性。
与微透镜阵列系类似，红外微透镜阵列常见的应用有：准直、匀化、波前传感等等。其主要的应用，是在传感器中，提高仪器的信息收集效率和探测精度。
考虑到客户的应用场景和实际需求，现阶段的口径只有方形。当然，如果客户有其他口径形状的红外微透镜阵列需求，亦可定制加工。口径上，主要有常见的100、200、250、500、800、1000、1100和1500μm等。硅材质红外波段的微透镜阵列在厚度上，可以比熔融石英的更薄，做到0.25mm。镜片尺寸上，依旧以常见的10*10mm为中心。
随着客户的需求的不断发展，我司Si微透镜阵列也会不断发展提高。目前Si微透镜阵列的加工精度与熔融石英的微透镜阵列一致，定制加工的能力上也是。但是因为Si复眼透镜的材质的折射率更高，所以客户定制的时候，焦距可以放的更大，可选择性更广。
常规定制加工限制：
-ROC误差：±5%
-表面粗糙度：<30nm
-Pitch误差：小于±1μm
-子单元之间存在2-4μm的间隙
常规定制加工限制：
-子单元（微透镜）的pitch值介于15-1500μm
-子单元的矢高（穹**到衬底的高度sag）介于0.7-50μm
-只能加工单片平凸结构，双凸加工不了
现有硅微透镜阵列标准品型号：
微透镜阵列型号 | 子单元形状 | Pitch/μm | F/mm | 镜片尺寸/mm | 厚度/mm | 镀膜 |
MLSi-S100-F0.157 | 方形 | 100 | 0.157 | 6.85×6.85 | 0.25mm | 未镀膜 |
MLSi-S100-F0.157 | 方形 | 100 | 0.157 | 6.8×6.8 | 0.25mm | 增透膜 |
MLSi-S127-F0.53 | 方形 | 127 | 0.53 | 10×10 | 1mm | 未镀膜 |
MLSi-S200-F3 | 方形 | 200 | 3 | 10×10 | 1mm | 未镀膜 |
MLSi-S200-F3 | 方形 | 200 | 3 | 10×10 | 1mm | 未镀膜 |
MLSi-S250-F0.66 | 方形 | 250 | 0.66 | 10×10 | 1mm | 未镀膜 |
MLSi-S500-F5 | 方形 | 500 | 5 | 10×10 | 1mm | 未镀膜 |
MLSi-S500-F5 | 方形 | 500 | 5 | 15.5×15.5 | 1mm | 增透膜 |
MLSi-S800-F2.59 | 方形 | 800 | 2.59 | 10×10 | 1mm | 增透膜 |
MLSi-S1000-F15 | 方形 | 1000 | 15 | 12×12 | 2mm | 未镀膜 |
MLSi-S1015-F40 | 方形 | 1015 | 40 | 10×10 | 2mm | 未镀膜 |
MLSi-S1100-F35 | 方形 | 1100 | 35 | 12×12 | 2mm | 未镀膜 |
MLSi-S1100-F35 | 方形 | 1100 | 35 | 15×15 | 1mm | 未镀膜 |
MLSi-S1100-F35 | 方形 | 1100 | 35 | Φ25.40 | 2.5mm | 未镀膜 |
MLSi-S1500-F35 | 方形 | 1500 | 35 | 12×12 | 2mm | 未镀膜 |
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