在电力设备运行过程中，当发生局部放电时，电子、正负离子等各种带电粒子在电场的激发下，一般比高分子的键能具有更多的能量。这些带电粒子撞击电介质气隙壁，会破坏绝缘体稳定的化学键。同时，局部放电点处的介质加热会产生较高的温度，会引起绝缘体的热开裂或促进氧化开裂，这些都会破坏绝缘体的分子结构。
高压开关柜是一种组合式电气设备，由多种材料组成，如环氧树脂、六氟化硫、工程塑料等。这样造成局部放电的原因有很多，常见的有如下几个方面：
①绝缘材料制造过程中的缺陷。
由于绝缘结构和工艺等各种因素的影响，绝缘体内可能存在残留气泡或杂质，气体的介电常数往往小于液体或固体材料的介电常数。在交变电场下，电场强度的分布与介电常数成反比。因此，如果液体或固体介质中存在气泡，则气泡内的电场强度**周围介质的电场强度，但击穿电场强度远低于液体或固体介质的电场强度。这样，气泡首先被击穿并发生放电，而其他电介质仍处于绝缘状态，从而形成典型的局部放电。
②电场分布不均匀。
导体表面的毛刺或尖角会使电场集中，导致局部放电。但是，金属颗粒可能会带入开关柜的制造和组装过程中。机柜内的这些粒子具有很强的电荷积累能力，导致该区域的电场畸变和放电；如果开关柜绝缘子表面灰尘过多或不够光滑，会导致爬电距离不够，导致局部放电；即使在接地的外壳上，如果焊缝粗糙，表面有气孔或夹渣，电场分布不均匀，会产生局部放电。
③电介质不均匀。
随着绝缘技术的发展，大气绝缘和复合绝缘的高压金属封闭开关设备是应用较广泛的产品。然而，正是复合绝缘技术的使用，导致了绝缘材料各部分介电性能的差异。绝缘材料制造过程中带入的气泡和杂质进一步使介质分布不均匀，在高压环境下会引起放电。
除此以外，例如母排毛刺、电压、温度、湿度、绝缘条件和外部环境都会影响局部放电。