蓝宝石化学机械抛光液作用研究

    目前,蓝宝石基片是LED工业的可以选择衬底,蓝宝石表面的质量对LED器件的质量和性能有着非常重要的影响。因此,在生产蓝宝石基片时,对后一道工序抛光加工工序有很高的要求,要求蓝宝石基片的表面光滑、无缺陷,这也是蓝宝石衬底重要的制程。但是,由于蓝宝石晶体材料硬度高,脆性大,属于典型的难加工材料之一。因此,如何让抛光加工满足日益增长的严格要求长期以来备受关注。如今的化学机械抛光是一可实现全局平坦化的抛光方法,而且它的成本相对较低,也是迄今为止可以在蓝宝石生产中大规模应用的抛光方法。硅溶胶为纳米的二氧化硅颗粒,在水中或溶剂中的分散液,属于胶体溶液,由于它价格实惠,分散稳定性性较好,因此广泛应用于集成电路化学机械抛光液中。

    由于科学技术的进步,人们在蓝宝石抛光液的研究方面取得了较大进展,硅溶胶抛光液在更广泛的领域内得到应用,美国新泽西州立大学研究了水相介质对蓝宝石抛光的重要性,提出了在以氧化铝为磨料的抛光液中,蓝宝石表面会形成一层硬度较小、易于去除的水化层,从而加快去除速率,保证了表面质量。

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