靶材保养技巧

    靶材包装在双层真空塑料袋中, 我们建议用户将靶材无论是金属或陶瓷类保存在真空包装中,

     尤其是帖合靶材更需要保存在真空条件下,以避免帖合层氧化影响贴合质量。

    对于金属靶材的包装,我们建议少需要包装在洁净的塑料袋中。

    靶材保养技巧:

    为避免在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧,有必要阶段性的除去溅射轨道中间及两侧堆积的溅射物,这也有助于用户可以连续以大功率密度进行溅射。

    靶材清洁的目的是去除靶材表面可能存在的灰尘或污垢。金属靶材可以通过四步清洁:

    步:用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁;

    第二步:与步类似用酒精清洁;

    第三步:用去离子水清洗。

    在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。

    氧化物及陶瓷靶材的清洗建洁用“无绒布”进行清洁。

    第四步:在清除完有污垢的区域后,再用高压低水气的氩气冲洗靶材,以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒。

    关键词:  铬铝靶  钛铝靶

    编辑精选内容:

    靶材制作工艺

    金属靶材发展前景

    合金靶材溅射原理


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