靶材便是快速荷能粒子负电子的总体目标原材料。靶材类型比较多,有金属类、合金类、金属氧化物类这些,用的领域也各有不同,运用很普遍。那麽普遍的金属靶材有什么?
普遍金属靶材的类型如下所示
基本金属轧材镁Mg、锰M、铁Fe、钴CO、镍Ni、铜Cu、锌Zn、铅Pd、锡S、铝AL
小金属靶材铟I、锗Ge、镓Ga、锑Sb、铋Bi、镉Cd
硅化物金属靶材钛Ti、锴Zr、铪Hf、钒V铌№b、钽Ta、铭Cr、钼M、钨W、铼Re
贵金属靶材金A、银Ag、钯Pd、铂Pt、铱1r、钌Ru、铑Rh、锇0s
半金属靶材碳C、硼B、碲Te、硒Se
希土金属靶材钆Gd、钐Sm、钸Ce、钇Y、镧La、镜Yb、铒r、铽Tb、钬H、铥
钕Nd、镨Pr、镥Lu、铕Eu、钪Sc
瓷器靶材氧化锌铝Az0、氧化铟锡∏I0、氧化锌Zn0、氮化铝AN、氮化钛T、碳化硼BN、
钛酸钡 Batio3、钛酸铋 BIlio3、碳碳复合材料SiC、钛酸锶 Srtio3、碳化钛TC、钴合金W、铌
酸锂 Linbo3
合金靶材金锡合金AuSn、金锗镍合金 auGeNi、锌铝合金ZmA1、铝铜合金AlCU、钻铁
硼台金 Cofeb、铁锰合金FeMn、铱锰合金1rMn锆钛合金Z「T、镍络合金NiCr、铜钢镓合
金 Cuin ga、铜锌锡硫合金CZTS
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