短弧汞氙灯,又名平行光曝光灯.功率主要有5000W,3000W,8000W等,用途较广泛的是5000W平行曝光灯.球形高压短弧汞氙灯
英文名称是Mercury Xenon Short Arc Lamps
该灯光谱范围主要在325nm~450nm之间,是在高压汞蒸气中产生电弧发光的短弧灯,此类灯管具有高 辐射 、多线光谱 、在紫外光区有较高的辐射能量 、寿命长、高光学质量等优点,适用于全自动曝光系
统和半导体生产光刻。
主要规格型号:日本USHIO系列型号有:PC-5001CBT,PC-5001CSN,PC-5001CBTL,PC-5001CSNL,PC-5002RC,PC-5002AD,PC- 5001TA;PC-5000MF,PC-5000SG、PC-3500SG;、同时还有点光源平行光曝光灯:型号有:SUV-1003FA;UVL-3500SI;USH-5000MG,UXM-5000TA、USH-3502MA,USH-2004MB、HSA-2002-30341.............
美国ORC型号有:HVF-5001CBT/R,HVF-5001CSN/R,HVF-5000MFN/R,HVF-5002AD/R,
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词条说明
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