电子束蒸发和磁控溅射镀膜区别？

时间：2014-10-31

作者：东莞爱加真空科技有限公司

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电子束蒸发和磁控溅射镀膜区别？
1.两种镀膜原理不同：电子束蒸发镀膜：利用高能电子束轰击靶材，使材料表面产生很高的温度，由固态直接升华到气态，沉积到工件表面所形成的薄膜，主要运用在光学方面(如：眼镜片的增透膜，CCD镜头，光通讯方面等等) 磁控溅射镀膜：高能离子轰击靶材，使靶材表面原子飞逸出来的过程称溅射，那么采用磁场控制后，溅射出来的原子或二次电子以轮摆线的形式被束缚在靶材表面，使得辉光维持而进行溅射，主要运用在装饰方面(
真空镀膜机真空计知识
真空计：真空计是真空镀膜设备上的重要组成部分，它是检测镀膜机真空度的重要手段。真空计根据其工作原理可以分为**真空计和相对真空计，**真空计可以直接测量压强的高低，相对真空计只能间接测量真空度。本文重点介绍镀膜机器上面常用到的以下几个真空计：点阻真空计(又叫皮喇尼真空计)：它主要由电热丝、外壳和支架构成，主要是根据在低压下，气体的热传导系数与压强成正比的方式工作的。上面开口处与被测真空系
氮化钛(TiN)涂层技术分析
氮化钛涂层是自PVD技术发明以来，较常见的一种涂层，具有较高的性价比，也是之前运用的较广泛的一种PVD涂层,它具有较高的薄膜硬度。用磁控溅射方法沉积的氮化钛沉积速度慢，表面颗粒小所以表面光滑，而且液滴等表面缺限少,但是表面硬度较低。用磁控阴极弧的方法沉积的氮化钛，沉积速度快，但表面颗粒大，所以表面光洁度较差，液滴等表面缺陷也较多，但是可以获得较高的表面硬度。
滑阀真空泵的用途是什么？
滑阀真空泵是由普通罗茨泵为主泵、滑阀真空泵为前级泵串联组成的真空机组。通过真空继电器或电接点压力表，来实现罗茨泵滑阀泵的自动启闭，自动过载保护。整套机组安装在一个机架上，配以管道、阀门、电器操作控制箱、冷却水管系统。机组结构紧凑，使用方便。滑阀真空泵同旋片泵一样，也是一种变容式气体传输泵，但是滑阀真空泵和2X旋片真空泵相比，耐用高出好几倍。其和范围和使用条件与旋片泵基本相同。由于滑阀泵的旋