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时间：2022-03-22

两种钛合金都分别采用两种注入方案： 　　

① 在TC4及TA7钛合金试件上溅射镀Ti，Ti膜总厚度为540nm(5400A).在镀Ti膜过程中，兴宏同时用(N+ +N+2)进行动态反冲注入，束流能量 为50keV，束流密度为45μA/cm2，剂量为7*1017/cm2，靶室真空度为1.33*10-2Pa； 　　

② 在①的基础上，再注入C+，束流能量为40keV，剂量为3*1017/cm2.

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