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时间：2023-08-14

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凯威科KAWAKE日本大晃TAIKO干式螺杆泵

TAIKO螺杆式干式真空泵，是采用*螺杆线性的干式真空泵，它低速转动连续排气，真空度可达到１０-1Pa，它可称为是划时代的干式真空泵。实现了极限真空度的**较低泵浦转速.从吸气起到排气采用非接触单段压缩，其特点是可以高效地排除空气或煤气中所含有的粉尘雾粒，广泛用于半导体，液晶，太阳能电池，医药，化工等真空行业。单级结构简单，易于保养和维修，在排除凝聚性气体，腐蚀性气体和反应生成物的半导体工艺中以及在硅单晶制造的抽真空等领域也发挥着威力。

 

各系列螺杆式真空泵：

1、SDV系列

抽速：500-11500 L/min   

极限压力：10 pa

用途：一般产业机器

2、SDF系列

抽速：500-850 L/min

极限压力：30 pa

用途：一般产业机器

3、MDP/SLT系列

抽速：1100-35000 L/min

极限压力：0.7 pa

用途：化学工序

4、BEH系列

抽速：7000-30000 L/min

极限压力：0.08 pa

用途：半导体液晶工序

5、TDP系列

抽速：1000-9000 L/min

极限压力：0.13 pa

用途：半导体液晶工序

6、TD系列

抽速：650-3000 L/min

极限压力：0.7 pa

用途：半导体液晶工序

7、TDA系列

抽速：150-700 L/min

极限压力：1 pa

用途：物理、化学机器

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词条说明
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