HVA 真空阀门用于太阳能电池生产

时间：2024-01-11

作者：伯东企业（上海）有限公司

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上海伯东普发 Pfeiffer 售后维修服务
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KRI 离子源用于IR-cut红外滤光片制备
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氦质谱检漏仪 ASM 340 真空镀膜配气面板检漏上海伯东某客户生产高纯度特种气体不锈钢减压阀门, 接头, 管件, 这些配件主要用于集成在真空镀膜配气面板, 实现工艺气体的传输. 为了防止气体外泄, 除了阀门, 接头, 管件需要单检漏外, 整个配气面板也需要测试整体漏率, 使用上海伯东德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340, 真空模式下, 漏率设置为 5.5x