福意联多用途恒温箱新型智能多用途恒温箱

时间：2024-04-27

EUV(较端紫外光)【13.5nm】
「EUV」（Extreme Ultraviolet 较端紫外光源）是美日欧新开发，并引起大众注意的新一代半导体曝光用光源。。在日本研究开发国家计画的「EUVA」方面、GIGAPHOTON 一同参与推动EUV的开发。此外，具有欧洲**研究开发力的德国XTREME 纳入集团，透过日欧坚强的合作开发体制，以及早期达成事业化为目标加速开发。 
※有关EUV的咨询，请参阅GIGAPHOTON Inc.或是XTREME technologies GmbH （英文）。 
 
开发产品
2003年 DPP光源 XTS13-15
?	发光点输出35W/2π sr 
?	集光点输出0.5W 
?	集光镜寿命1亿脉冲以上 
 
2005年附集光镜的DPP光源XTS13-75-IF
?	发光点输出75W/2π sr 
?	集光点输出0.5W 
?	集光镜寿命5亿脉冲以上 
 
2005年 附集光镜 XTS13-150-IF
?	发光点输出150W/2π sr 
?	集光点输出10W 
 
测量仪器（核聚变校正标准装备）
?	能源监测仪器 
?	集光点能源 
?	INBAND照相机与强度分布计测 
?	光谱 
?	光谱过滤器

词条
词条说明
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