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时间：2020-04-18

NXXD-SH-20型硅料清洗机适用于6-200mm多晶硅料的酸腐蚀、清洗处理。用户操作人员手动上料后，手动酸腐蚀后，全过程自动化控制，减少人工干预。设备具有自动化程度高，运行成本低，生产效率高，性能稳定，安全可靠等特点。
工艺处理部分（即槽体部分）是NXXD-SH-20型硅料清洗机的主要部分，是完成预定工艺过程的载体。它主要由一个腐蚀槽、一个DI水清洗槽、一个水中传递槽、三个超声槽及一个三级溢流槽等组成。每槽均可满足用户每次清洗15Kg硅料。
1#槽为腐蚀槽，槽体由NPP材料焊接加工，槽体尺寸为400 mm×400mm×400mm（高度尺寸指从槽体下部隔板到槽体顶部的尺寸），DI、化学液自动注入，废液排放为电动气控阀门控制排放，由用户回收处理，;配有气缸抖动装置，抖动速度可调，使腐蚀清洗更均匀；抖动系统为气缸驱动，气缸外套保护管，配有氮气保护，抖动为托盘式，托盘底部为孔板；抖动行程为50mm，抖动连接为PP套管，防腐性能及起到加强筋作用。
2#槽为DI水清洗槽，槽体由NPP材料焊接而成，槽体尺寸为400 mm×400mm×400mm（高度尺寸指从槽体下部隔板到槽体顶部的尺寸），槽体采用四面溢流结构，DI水从槽体底部自动注入。废液排放由电控气动阀门实现，废液直接排入设备底部，进入排放管道，;配有气缸抖动装置，抖动速度可调，使腐蚀清洗更均匀；抖动系统为气缸驱动，气缸外套保护管，配有氮气保护，抖动为托盘式，托盘底部为孔板；抖动行程为50mm，抖动连接为PP套管，防腐性能及起到加强筋作用。
3#槽为水中传递槽, 槽体尺寸为800 mm×400mm×400mm（高度尺寸指从槽体下部隔板到槽体顶部的尺寸），槽体由NPP材料焊接而成。底部有传动机构，通过传感器感应花篮位置，然后传递到机械手位置。
4、5、6#槽为超声清洗槽, 槽体尺寸为400 mm×400mm×400mm（高度尺寸指从槽体下部隔板到槽体顶部的尺寸），槽体SUS304焊接而成。清洗方式：槽底上水漂洗，漂洗过程中伴有超声抖动及溢流排放；超声波系统：超声系统为分体式（振子、电源分开），振板材质为2.0mmSUS304,功率:1500W，频率28KHZ且可调;抖动为两端双气缸控制保证抖动稳定性;配有气缸抖动装置，抖动速度可调，使腐蚀清洗更均匀；抖动系统为气缸驱动，气缸外套保护管，配有氮气保护，抖动为托盘式，托盘底部为孔板；抖动行程为50mm，抖动连接为PP套管，防腐性能及起到加强筋作用.
7#三级溢流槽，槽体尺寸为1300 mm×400mm×400mm，清洗方式：槽底上水漂洗，漂洗过程中伴有溢流排放以达到更好的清洗效果；  抖动为两端双气缸控制保证抖动稳定性;配有气缸抖动装置，抖动速度可调，使腐蚀清洗更均匀；抖动系统为气缸驱动，气缸外套保护管，配有氮气保护，抖动为托盘式，托盘底部为孔板；抖动行程为50mm，抖动连接为PP套管，防腐性能及起到加强筋作用。

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