SEC-310 气体接触部材质 SUS-316、氟化橡胶 阀门类型 NO: 非通电时:开; NC: 非通电时:关闭 标准流量量程 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 流量控制范围 2?100% F.S.(满量程) 流量精度 ±1.0% F.S.(满量程) SEC-320 气体接触部材质 SUS-316、氟化橡胶 阀门类型 NO: 非通电时:开 标准流量量程 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 流量控制范围 2?100% F.S.(满量程) 流量精度 ±2.0% F.S.(满量程) SEC-405 气体接触部材质 SUS-316、氟化橡胶 阀门类型 NO: 非通电时:开 标准流量量程 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM :N2.Ar.H2.O2.CO2.CH4.C3H8 流量控制范围 2?100% F.S.(满量程) 流量精度 ±0.5% F.S.(满量程) SEC-410 气体接触部材质 SUS-316、氟化橡胶 阀门类型 NO: 非通电时:开 ;NC: 非通电时:关闭 标准流量量程 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM 流量控制范围 5?100% F.S.(满量程) 流量精度 ±1.0% F.S.(满量程) SEC-510 气体接触部材质 SUS-316、氟化橡胶 阀门类型 NO: 非通电时:开 ;NC: 非通电时:关闭 标准流量量程 10/20 SLM 流量控制范围 5?100% F.S.(满量程) 流量精度 ±1.0% F.S.(满量程) 无锡市三环仪器有限公司 0510-88701706 plg888@
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