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     处理的气体包括:SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。
    
    主要有以下优点:
    
    1. 整机设计美观, 安全标准。
    
    2.拥有处理量特大﹑效率高﹑及长时间运转。
    
    3.操作*上手、保养简单快速、零料件经久耐用,性价比高
    
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