UV紫外臭氧清洗过程提供一种简单,经济,快速获得**洁净的表面,去除大多数无机基材(比如石英,硅片,金,镍,铝,砷化镓,氧化铝*等)上的**污染物。特别是当基材和薄膜蒸镀需要很好的粘接时,紫外清洗非常理想。获得**洁净的表面,只需要在传统清洗后,再用紫外臭氧清洗过程几分钟就可以啦。 紫外臭氧清洗可以去除: 皮肤油脂,**硅油和油脂,助焊剂,残留的光刻胶,胶水溶剂,碳等。 怎样说是“**”洁净? 接触角测量方法4-5度。适用AES和ESCA测量细微的峰值。使用蒸汽测试,在冷凝和蒸发时形成一致的彩虹装的条纹。通常情况下,使用清洗或是超声清洗工序后,清洁关键表面认为完成。紫外臭氧清洗提供一种新的清洗尺度。在传统清洗工序后加入紫外清洗的应用,产品的性能和可靠性的提升不断的证明这种新的清洗尺度的价值。 紫外臭氧清洗工作原理: UVOCS清洗设备的核心是低压石英汞灯,产生254和185nm范围的紫外线。臭氧和等离子氧气产生,**污染物分子在吸收254nm波长紫外线后被激发或分解。激发的**污染物可以和等离子氧原子反应形成气体,比如CO2,H2O等。整个过程在室温**发生,并且只需要1到几分钟完成。 *注1:白色氧化铝暴露在UV能量下会变黄。这种现象是由于基材吸收UV能量, 而不是一种涂层。这种氧化铝在加热情况下会转化为他原来的颜色。 **注2:清洗元件温度的上升取决清洗过程的时间长度。在大多数应用,元件温度可以视为室温。 关键特性: ?间歇式灯泡工作方式。灯和定时器通过关闭门来触发。 ?滑行部件托盘-光滑-低震动,滚珠轴承系统-高度到1.5英寸。 ?坚固耐用,全部不锈钢结构 ?**命。低压石英蒸汽灯发射254nm和185nm UV,促进快速氧化,去除微量的**残留物。 ?全面UV保护让设备操作更安全。 ?更低设备采购成本和操作成本。 ?0-999秒/分钟/小时定时器,能够精确控制。灯和定时器通过门关闭来触发。 ?臭氧排气护罩:UVOCS托盘型号有一个臭氧护罩,可以允许UVOCS清洁设备放在你的生产线或是设备,和过程相关设备放在一起。这会使得材料的再污染较小化。一个3英寸排气出口内置在护罩的后面,可以连接到你的排气系统。没有提供排气风扇。较小排气量需求为100CFM.(立方英尺/分钟) ?在操作过程结束时有蜂鸣声。 ?UV "ON"指示灯和可见窗口。 ?操作简单:设定定时器,打开门,抽出托盘,将元件放在托盘上。将托盘滑入并关闭门。在清洗操作过程结束有蜂鸣声。打开门,移开全部的清洗元件。
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