一、情况简介 :
CX-200系列扫描电镜是在CX-100优秀核心技术基础上,创新调整了产品构架,性能进一步提高,达到世界当前同类产品的**水平。作为COXEM公司较新主力型产品,共分为4个标准化子型号。
CX-200TA型全自动扫描电镜:涡轮分子泵+自动台
CX-200DA型全自动扫描电镜:油扩散泵+自动台
CX-200TM型半自动扫描电镜:涡轮分子泵+手动台
CX-200DM型半自动扫描电镜:油扩散泵+手动台
“由于扩散泵对于真空环境的污染,造成仪器性能减退显着,需要提高3倍以上维护频率,对于大多数用户来说,是不愿意接受的;另外真空环境污染造成样品在高倍观察时,产生碳沉积,影响图像分辨率。因此从科学发展角度,从市场用户的实际需要出发,COXEM暂不对外出售CX-200D系列产品。”
具有世界*技术水平的CX-200系列高性能大型钨灯丝扫描电镜,适合多种需求类型的客户选购。
在选购时,您一需要考虑的问题,工作效率:
扫描电镜优劣评价标准,是扫描电镜的工作效率高低(这个标准是DEMA驰奔定义),仪器客观的工作效率是由仪器的软硬件决定的,当基本的功能指标都相同或者相似,其中对效率影响较大的两个因素,是真空系统的清洁程度和样品台的自动化程度。CX-200系列四个标准型号扫描电镜根据以上两个重要因素,进行组合而成。
驰奔对扫描电镜工作效率简单分析如下:
1、搜索样品感兴趣点的速度,样品台自动化程度越高,效率越高。计算机导航坐标定位马达驱动系统要优于单纯的马达驱动,马达驱动要优于手动。对于样品全面分析检测,统计特征点,自动台体现高效率。当然如果您的样品放进去,只是选择一两个区域来照相,自动台意义不大。
2、高质量图像获得的效率:电子光学系统的自动化,或者更高的性能来提高效率。如热场发射扫描电镜看2万倍,可以在2TV扫描速度下,清晰成像,而钨灯丝大型扫描电镜看2万倍图像,要清晰成像,光保存一帧图像需要20秒以上,还不要说调整电子光学参数的功夫,如果不明就里,拿过来两个图像来比较,可能很难分出伯仲,因此有的人会说,在2万倍水平上,钨灯丝扫描电镜和场发射扫描电镜区别不大,这个前提就是忽略客户的效率需求,比如工厂做晶圆上的芯片检测,这里边就有了效率需要,虽然一般检测可能只看2万倍,但对效率提出很苛刻的要求,钨灯丝根本不能胜任。
3、系统真空获得的效率:涡轮分子泵相对扩散泵具有明显优势。
3.1、众所周知,涡轮分子泵可随时开关机,油扩散泵开关机受到泵油升温和冷却的限制(开关机一个来回至少要等50分钟),因此要么就开一天,要么一开就至少半天,半天如果只需要做一个小样,照一张照片,那效率就更低了;除非扩散泵长期不关机,例如2-3个月,真空泵总保持启动,那么效率还是很高的,这需要特殊照顾。
3.2、真空洁净度对效率影响:涡轮分子泵真空洁净度远远优于油扩散泵。泵油蒸汽分子,在电子束作用下分解为碳氢化物,污染样品和末级光阑。电子束扫描样品时,会被电子束诱导沉积到正在观察的样品区域表面,越高倍,沉积速度越快,污染降低se产额,从而降低成像分辨率;末级光阑在电子束作用下,较容易沉积污染物,污染的随机变化,在高倍引起的象散需要随时进行校正。往往高倍需要逐级消象散,在一个区域调节电镜参数到较佳,然后迅速电位移到就近区域扫描存储图像,这降低操作效率
3.3、也同样是污染的原因,扩散泵真空系统扫描电镜需要的维护周期要短得多,一般建议3个月维护一次,而同样工作条件,涡轮分子泵真空系统的一般建议是1年维护一次。
综上所述:在一次操作周期内对效率影响较大的因素,自动化程度越高,效率越高。应该是样品台的自动化程度和真空洁净程度;电子光学性能需要定位,5000倍以下,不明显,5000倍以上就显示高分辨和自动化的优势。
通过以上简单分析,对CX-200系列型号作如下推荐,原则是不至于让您感到特别疲倦,让您专注于材料的特征观察分析。
1、如果您有大量的样品要做,但要求管理维护简单方便,应该选择较高效率的CX-200TA型,
2、如果您有大量的样品要做,同时可以接受较短的维护周期,可以选择CX-200DA型
3、如果您的样品量不算大,但随时想看,又不希望花过大精力照顾扫描电镜,请选择 CX-200TM型
4、如果您的样品量不算大,可以安排专门操作人员“照顾”扫描电镜,可以选择更加经济的CX-200DM型
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