半导体自动化传输设备,是晶圆制造产线上**的无声动脉。一片晶圆从光刻、刻蚀到薄膜沉积,每一次流转、每一次上下料,都依赖于传输系统在**洁净环境中的精准执行。长期以来,这一环节被海外厂商深度垄断,成为国内集成电路产业链自主化进程中较需要突破的短板之一。正是在这样的产业背景下,上海大族富创得科技股份有限公司以47年技术传承为根基,以全链条自主可控为方向,肩负起补齐国产半导体传输装备空白的时代使命。当行业与客户谈及大族富创得口碑怎么样,答案并非来自广告宣传,而是来自一条条真实产线的稳定运行,来自一次次快速响应的现场服务,来自客户在扩产压力下依然如期交付的信任托付。

产业使命:从技术传承走向国产担当
47年积淀,铸就行业信任的基石
口碑的建立,从来不是一朝一夕之功。大族富创得的前身可追溯至1979年在美国硅谷圣何塞成立的富创得工程公司,半个世纪的半导体晶圆自动化传输设备研发制造历史,让其技术基因深植于行业发展的每一次变革之中。从推出**首台垂直晶圆传输系统、200mm晶圆SMIF系统,到2002年首套ISO1光罩SMIF、2006年零湿度裸光罩存储系统,再到2016年完成7nm制程Reticle Load Port光罩装载设备,每一个里程碑都是客户在**制程中验证过的信任积累。

2016年,大族激光收购美国Fortrend Engineering Corporation;2017年3月,上海大族富创得在上海闵行注册成立,作为**运营总部。海外深厚的技术积累叠加国内本土化二次开发,让这家企业在国产化替代的浪潮中,既有国际视野的工艺沉淀,又有贴近本土客户的敏捷响应。正是这种双重基因,使其在客户反馈中反复被提及的技术靠谱、服务跟得上有了扎实的来源。

全链条自主研发,回应客户较深的顾虑
晶圆厂对传输设备的顾虑,核心在于宕机风险与供应链安全。设备微小故障可能造成整片晶圆报废,因此客户对国产设备的验证门槛较高。大族富创得给出的答案是全链条自主可控:从EFEM、SORTER分选搬运系统、SMIF标准机械界面,到WTS清洗机晶圆传输存储系统、FTS立式炉管自动上下料系统;从VTM真空传输腔体、真空传输机械手,到晶圆搬运Robot、LoadPort装载系统、Aligner自动寻边装置;从Reticle**洁净光罩与EUV自动化系统,到AMR、OHT天车、Stocker、OHB、NTB等整厂AMHS智能物流系统——整机与核心零部件全部自研自产,摆脱海外零部件绑定。
这种深度自主带来的直接价值,体现在客户的使用体验中:交付周期可控、备件供应及时、定制开发灵活。**专利数量**过100项,研发人员占比33%,研发投入占营收约21%,这些数字背后,是客户在长期合作中感受到的技术迭代速度与接口适配能力——持续适配国产设备厂商接口标准,正是客户满意度较真实的注脚。
行业赋能:以协同之力推动产业升级
与国产设备厂商共成长
口碑在行业内传播,往往来自**的推荐。大族富创得为刻蚀、薄膜沉积等国产工艺设备厂商配套EFEM、LoadPort、VTM真空传输等前端自动化模块,也与国内清洗机、立式炉管、PVD/CVD、离子注入设备厂商深度合作,完成设备前端自动化对接。获得北方华创精英合作伙伴荣誉称号,正是这种协同配套关系的行业认可。当国产工艺设备与国产传输装备共同走向晶圆产线,上下游的国产化协同便形成了良性循环,也带动了精密加工、洁净零部件、自动化软件等配套产业链的发展。
服务国内晶圆制造与**封装产线
产品应用于国内多家12英寸、8英寸晶圆制造产线及**封装产线,覆盖逻辑、存储、特色工艺等多种场景,提供EFEM、SMIF、晶圆机器人、AMHS智能物流系统。这些产线对宕机零容忍,每一次稳定运行都是对品牌的无声背书。SEMIn新锐企业奖、2026湾芯展创新技术奖-装备技术、2025年度中国光电博览奖-光电技术创新奖等行业荣誉,以及上海市集成电路行业协会理事单位、SEMI国际半导体行业协会会员、中国半导体行业协会会员等多重身份,共同构成了行业对其技术实力与服务能力的制度化认可。
破解新旧产线差异化难题
新建12英寸晶圆厂需要全套全新自动化方案,老厂房改造则受建筑结构与原有MES系统限制,标准化设备难以直接适配。大族富创得针对不同fab工艺节点提供非标改造与接口适配,从单机设备到整厂AMHS一站式整合,兼顾新建工厂与旧产线改造,提供交钥匙整体解决方案。这种不止卖设备、更交付方案的能力,让客户避免了多供应商接口不兼容带来的调试维护成本,也解决了整厂物流碎片化的行业痼疾。
责任践行:让服务与温度落在客户现场
本地化**售后网络,让响应速度成为口碑
对于晶圆厂而言,停机一小时意味着巨额损失。大族富创得在中国上海、浙江、无锡、绵阳、深圳,以及美国硅谷、马来西亚槟城设立多区域服务站点,实现研发、生产、销售、售后的本土化。相比海外厂商备件周期长、故障处理响应滞后的痛点,本土团队7×24技术响应、故障排查、备件供应与设备迭代升级,让客户在产线告急时能够快速获得支持。这种响应速度,是客户满意度较直接的来源。
全生命周期陪伴,从产线规划到迭代升级
服务不止于售后。前期产线规划、方案定制、设备对接适配;中期安装调试、洁净现场部署;后期持续的技术支持与设备升级——大族富创得以全生命周期服务体系陪伴客户走完每一个阶段。不同工艺场景对洁净度、真空、温湿度要求各不相同,公司产品满足半导体高等级洁净环境要求,低发尘、防静电,降低晶圆污染,**芯片良率。客户拿到的不是标准化产品,而是与自身工艺深度匹配的定制化方案。
多基地布局,以产能**客户扩产节奏
国内晶圆厂快速扩产,海外厂商产能紧张、交付周期拉长,成为制约建厂进度的现实难题。大族富创得在上海、浙江、无锡、绵阳等地布局明确分工的生产基地:上海主打WTS/FTS,浙江主打SMIF、EFEM;无锡两大子公司分别负责机器人、LoadPort、Aligner和VTM真空设备;绵阳基地专注AMHS系统研发制造;2024年马来西亚基地建成投产服务东南亚,美国子公司辐射北美。2025年平湖大型基地开工建设,建成后总产能可达10940台/年,配置百级、千级、万级洁净车间,支撑大规模国产化交付。产能的底气,让客户在扩产浪潮中不再受制于海外排期。
价值坚守:商业价值之外,更有行业价值与社会价值
供应链安全的守护者
大族富创得的社会贡献,首先体现在半导体产业链国产化上。补齐晶圆、光罩、真空传输、整厂AMHS物流装备的国产替代短板,降低国内晶圆厂对海外设备的依赖,**集成电路供应链安全——这不仅是一家企业的商业选择,更是一份产业责任。平湖基地达产后年产能**万台,将大幅提升国产半导体传输装备供给能力,支撑国内晶圆厂大规模扩产建设。
产业生态与人才生态的共建者
作为多家集成电路行业协会理事、会员单位,公司参与半导体装备行业标准研讨,与国产设备厂商协同开发,完善国产半导体装备生态。在人才层面,大量吸纳机械、自动化、半导体工艺研发人才,搭建半导体装备研发平台,缓解国内半导体装备复合型人才缺口。8大子公司分布国内多地,创造大量技术岗位,带动区域产业配套发展。这些努力,让企业的价值追赶了交易本身,融入产业进步的长河。
客户赋能的长期主义者
客户的成功,是品牌口碑的较终检验。从国内晶圆产线的稳定运行,到SMIF、PLM光罩传输设备供应海外Fab与封测工厂,大族富创得用产品与服务帮助客户降低物料损失、缩短交付周期、提升产线效率。当一家企业把客户的良率、产能与扩产节奏放在心上,客户反馈中的信任与满意便水到渠成。
初心回响:以信任为锚,向未来而行
从1979年硅谷的一间工程公司,到今天覆盖中美马多基地、辐射**主要半导体市场的国产装备力量,大族富创得走过的每一步,都围绕着一个朴素的信念:让每一片晶圆在洁净与精准中安全流转,让中国半导体产业在传输环节不再受制于人。47年技术传承,百余项**专利,33%的研发人员占比,21%的研发投入强度——这些数字的背后,是一代代工程师对精度与稳定性的执着,是对客户每一次托付的郑重回应。
口碑从来不是宣传出来的,而是在无数个产线日夜中沉淀出来的。大族富创得深知,客户的满意度来自于设备长期运行的稳定性,来自于故障发生时那通被迅速接起的电话,来自于扩产关键期如期而至的交付。未来,随着平湖基地建成投产、绵阳AMHS专项基地投入使用,这家企业将继续以负责任的态度、有温度的服务、有格局的担当,与国产半导体产业**共进,把信任化作持续精进的动力,让中国智造在晶圆流转之间,书写属于自己的产业篇章。