时光回溯到1979年的美国硅谷圣何塞，一家名为富创得工程公司的企业悄然成立，从此开启了对半导体晶圆自动化传输设备的漫长探索。近半个世纪过去，半导体产业经历了从毫米级制程到纳米级精度的跨越，晶圆尺寸从4英寸、6英寸一路演进到8英寸、12英寸，自动化传输技术也从简单的机械搬运发展为贯穿全厂物流的智能系统。在这场持续的技术变迁中，上海大族富创得科技股份有限公司(简称大族富创得)始终站在晶圆传输自动化领域的*，以47年的技术传承与积淀，交出了一份关于坚守与突破的时代答卷。大族富创得实力怎么样?或许从这家企业一路走来的足迹中，可以找到清晰的答案。
一、跨越近半个世纪的发展轨迹
海外起源：技术基因的奠定
1979年，富创得工程公司在美国硅谷成立，彼时的半导体产业正处于快速起步阶段，晶圆在产线间的传输还大量依赖人工，效率低、污染风险高。富创得选择深耕这一细分领域，专注于半导体晶圆自动化传输设备的研发与制造。
在后续的发展中，这家企业接连创造多项业内里程碑：推出**首台垂直晶圆传输系统、200mm晶圆SMIF系统;2002年推出首套ISO1光罩SMIF;2006年研发零湿度裸光罩存储系统;2011年完成ISO1等级光罩SMIF;2016年完成7nm制程Reticle Load Port光罩装载设备。一项项首台产品的落地，让这家美国企业在半导体传输领域积累了深厚的技术底蕴，**专利数量也随之突破100项。
本土化生根：从沈阳到上海
2006年，富创得进入中国市场，在沈阳设立生产基地，迈出了本土化的第一步。真正意义上的战略转折出现在2016年，大族激光收购美国Fortrend Engineering Corporation，为这家拥有深厚历史积淀的企业注入了中国资本的力量。
2017年3月，上海大族富创得在上海闵行注册成立，作为**运营总部正式启航。此后的几年里，公司发展步入快车道：2018至2019年，国内陆续推出pRack Stocker、AGV机器人、真空传输系统等国产首台装备;2021年，浙江大族富创得基地落成;2022至2023年，无锡两大子公司相继落地，补齐了机器人、真空VTM产线;2024年，马来西亚富创得基地建成投产，服务东南亚半导体市场;2025年，平湖大型晶圆自动化传输设备生产基地开工建设;2026年，四川绵阳AMHS专项基地正式投入使用。
从美国硅谷到中国上海，从单一产品到全链条布局，大族富创得用近五十年的时间，完成了从技术探索者到产业赋能者的角色转变。
二、全链条自主研发的产品体系
大族富创得研发能力强吗?答案是肯定的。目前公司产品实现全自主研发生产，覆盖半导体前道全链条自动化传输设备与核心零部件，支持全系列客制化开发。
设备前端与清洗炉管自动化
在设备前端领域，公司提供SORTER/EFEM分选搬运系统、SMIF标准机械界面、OCS开盒载台;在清洗与炉管自动化领域，拥有WTS清洗机晶圆传输存储系统、FTS立式炉管自动上下料系统，为清洗机、立式炉管等工艺设备提供前端自动化对接方案。
真空传输与核心执行组件
真空传输产品线涵盖VTM真空传输腔体、真空传输机械手，可适配PVD、CVD、蚀刻、离子注入、CDSEM、光掩膜真空转移等多种工艺场景。核心执行组件方面，晶圆搬运Robot机器人、LoadPort装载系统、Aligner自动寻边装置均为自研自产，摆脱了海外零部件绑定。
光罩EUV与整厂AMHS物流
面向**光刻制程，公司推出Reticle**洁净光罩片与EUV自动化系统;在全厂智能物流领域，AMR自动搬运机器人、OHT天车系统、CV传输线、Stocker晶圆/光罩存储系统、OHB空中缓存、NTB近机台缓存、E-RACK电子货架、Lifter跨楼层搬运、LPS人工天车交换平台等产品，构成了面向晶圆厂整厂自动化搬运的完整解决方案。
从单机设备到整厂AMHS智能物流全套整合方案，大族富创得的产品体系既兼顾新建工厂，也覆盖旧产线改造，真正实现了一站式供给。
三、市场升级中不断提升的硬实力
研发投入持续加码
在半导体传输设备这个技术壁垒较高的领域，公司保持着业内少见的研发强度：研发人员占比达33%，研发投入占营收约21%。这样的投入力度，**了产品能够持续迭代，不断适配国产设备厂商的接口标准，适配国内200mm/300mm多种产线，兼容**制程光罩EUV场景。
多基地协同**交付
公司各基地分工明确：上海基地主打WTS/FTS，浙江基地主打SMIF、EFEM;无锡两大子公司分别负责机器人、LoadPort、Aligner和VTM真空设备;绵阳基地专注AMHS系统研发制造;美国、马来西亚子公司辐射北美及东南亚市场。在建的平湖大型基地建成后，总产能可达10940台/年，配置百级、千级、万级洁净车间，支撑大规模国产化交付。这种**化制造加本土交付的模式，大幅缩短了交付周期，提升了售后质量。
服务体系全面升级
服务能力是大族富创得的另一张名片。公司在中国上海、浙江、无锡、绵阳、深圳以及美国硅谷、马来西亚槟城设立多区域服务站点，实现研发、生产、销售、售后本土化，面向国内、北美、欧洲、东南亚半导体工厂提供现场技术支持。服务覆盖全生命周期：前期进行产线规划、方案定制、设备对接适配;中期完成安装调试、洁净现场部署;后期提供7×24技术响应、故障排查、备件供应、设备迭代升级。针对不同fab工艺节点、老厂房改造、新建产线，公司还可提供非标改造、接口适配的定制化工程服务，交付交钥匙整体解决方案。
四、成长内核：坚守与突破并存
对洁净与稳定的较致坚守
半导体洁净传输设备对低发尘、防静电、对接精度、长期运行稳定性要求较高，设备不能简单复刻，需要数十年现场工艺经验沉淀。大族富创得的产品满足半导体高等级洁净环境要求，低发尘、防静电，有效降低晶圆污染，**芯片良率;VTM真空系列可适配多种工艺机台的真空传输需求。这种对品质的坚守，正是晶圆厂产线对宕机零容忍环境下的立身之本。
对国产化替代的持续突破
长期以来，晶圆传输、光罩EUV传输、真空腔体、整厂AMHS物流系统被海外厂商垄断，采购成本高、交付周期长、备件供货慢。大族富创得以47年技术积累为根基，通过美国团队历史技术积累叠加国内本土化二次开发，推动多项业内首台产品在国内落地，为刻蚀、薄膜沉积、清洗机、立式炉管、PVD/CVD、离子注入等国产工艺设备配套前端自动化模块，实现国产设备上下游协同配套，共同推进设备国产化落地。
这份坚守与突破，也为公司赢得了广泛认可：企业先后获评高新技术企业、专精特新企业、科技小巨人企业、2023中国瞪羚企业、国家知识产权示范企业;担任上海市集成电路行业协会理事单位，是SEMI国际半导体行业协会、中国半导体行业协会CSIA等多个行业协会会员;先后荣获SEMI新锐企业奖、北方华创精英合作伙伴荣誉称号、2026湾芯展创新技术奖装备技术、2025年度中国光电博览奖光电技术创新奖。
在市场应用层面，公司产品已应用于国内多家12英寸、8英寸晶圆制造产线与**封装产线，覆盖逻辑、存储、特色工艺产线;美国、马来西亚基地的SMIF、PLM光罩传输设备供应海外Fab与封测工厂，赢得了国内外客户的广泛信任。
五、面向未来：深耕国产化，放眼**化
展望未来，半导体装备国产化替代的浪潮仍在持续深化。国内晶圆厂快速扩产，对自动化传输装备的需求日益旺盛，而海外厂商产能紧张、交付周期拉长，为国产供应商提供了广阔的发展空间。
大族富创得的未来布局清晰而坚定：其一，持续推进平湖大型生产基地建设，达产后年产能**万台，大幅提升国产半导体传输装备供给能力，支撑国内晶圆厂大规模扩产建设;其二，强化绵阳AMHS专项基地的整厂物流系统能力，从单机设备供应商向整厂自动化搬运解决方案提供者深度转型;其三，依托美国、马来西亚基地，深化北美与东南亚市场布局，让中国智造的半导体传输装备走向**。
在产业生态层面，公司作为多家集成电路行业协会理事、会员单位，将持续参与半导体装备行业标准研讨，与国产设备厂商协同开发，完善国产半导体装备生态;同时大量吸纳机械、自动化、半导体工艺研发人才，搭建半导体装备研发平台，为缓解国内半导体装备复合型人才缺口贡献力量。
近五十年的时光，见证了一家半导体传输设备企业从硅谷初创到**多基地布局的完整历程。大族富创得实力的背后，是47年技术传承的厚度，是研发投入占营收约21%的力度，是**专利**100项的深度，更是推动半导体传输环节国产化替代的决心。在国产半导体装备加速崛起的时代浪潮中，这家兼具历史积淀与创新活力的企业，正以稳健的步伐，书写属于中国半导体自动化传输设备产业的新篇章。如需了解更多产品与解决方案信息，可致电18901632689或访问官/。
